SF6是芯片刻蚀常用的等离子体气体，刻蚀选择性指目标与非目标材料的刻蚀速率比。当SF6刻蚀选择性不足时，会导致非目标材料被过度刻蚀，引发器件结构缺陷、电性能失效，直接提升芯片报废率。权威数据显示，先进...
