SF6在半导体芯片刻蚀中通过等离子体解离产生活性物种,结合化学刻蚀与物理溅射实现各向异性刻蚀;通过精准调控工艺参数、依托先进设备与监控系统,实现纳米级精细结构加工,广泛应用于先进制程,同时通过回收系统...
SF6是3nm芯片制程中等离子体刻蚀环节的核心气体,通过实现高深宽比结构精准刻蚀、极致材料选择性控制、低损伤刻蚀保障器件性能,以及成熟工艺兼容性支撑量产,是GAA等先进晶体管架构制造中不可替代的关键材...
SF6凭借稳定的分子结构与等离子体环境下的高活性分解特性,成为半导体干法刻蚀的核心气体。其分解产生的氟自由基可实现高精度各向异性刻蚀,满足先进制程纳米级结构需求,同时具备优异的刻蚀选择性与低损伤特性,...
在AI算力基础设施的宏大叙事中,GPU与HBM(高带宽存储器)往往占据聚光灯的中心,而连接CPU与内存、GPU与CPU之间的“数据高速公路”——互连芯片,却常常被市场忽视。澜起科技(上海)有限公司(股...
半导体设备是芯片制造的基石,决定了集成电路工艺的先进程度。在美国出口管制持续收紧、国内产业链自主化需求迫切的背景下,中国半导体设备企业正迎来历史性发展机遇。中微半导体设备(上海)股份有限公司(证券简称...
兆易创新科技集团股份有限公司(股票代码:603986.SH)是中国领先的半导体设计公司,主营业务涵盖存储芯片(NORFlash、SLCNANDFlash、利基型DRAM)、微控制器(MCU)、传感器及...
合肥晶合集成电路股份有限公司(股票代码:688249.SH,以下简称“晶合集成”)是中国大陆第三大晶圆代工企业,全球第九大晶圆代工厂商,市占率约2%。公司成立于2015年,总部位于安徽合肥,主要从事1...
在全球半导体产业链向“后摩尔时代”深度演进的大背景下,封装测试环节正从传统的“配套工序”跃升为芯片性能提升的“关键战场”。南通通富微电子股份有限公司(股票代码:002156,以下简称“通富微电”)作为...
在科创板即将迎来一家重量级芯片企业之际,紫光展锐(上海)科技股份有限公司正以“手机SoC全球第四、5G技术全球第三家公开市场玩家”的身份进入资本视野。作为中国大陆仅次于华为海思的通信芯片设计企业,紫光...
在新能源汽车竞争从“电动化”向“智能化”深度演进的关键节点,车规级芯片的自主可控已成为整车厂商的核心战略命题。比亚迪半导体股份有限公司(以下简称“比亚迪半导体”)作为国内少数实现车规级功率半导体全链条...