SF6气体处理涵盖回收净化、分解销毁等环节：回收净化时会产生固体颗粒物、废吸附剂、精馏馏分及水解生成的HF、SO2等酸性副产物；分解销毁通过高温、等离子体等工艺生成HF、SO2、S2F10等气态副产物...

六氟化硫（SF6）气体中的常见杂质主要来源于生产、储存运输及使用过程。生产阶段包括原料带入的硫化物、氟化物，以及副反应产物如SF4、S2F10等；储运阶段易混入空气、水分及容器锈蚀产生的金属氧化物；使...