四氟化硫（SF4）作为六氟化硫（SF6）的分解产物，是强氟化剂，可与半导体设备中的金属、绝缘材料、聚合物组件发生氟化反应，破坏金属布线、绝缘层结构，导致密封件老化、精密组件失效，进而影响设备寿命与晶圆...

四氟化硫（SF4）是六氟化硫（SF6）的主要分解产物，为无色刺激性极性气体，熔点-121℃、沸点-40℃，反应活性强，易水解生成腐蚀性物质，属中等毒性，8小时容许浓度2ppm，是强效温室气体（GWP约...