SF6在半导体芯片制造中泄漏后，会对环境造成多维度长期危害：其全球变暖潜能值是CO2的23500倍，大气寿命达3200年，持续加剧全球变暖；作为受控温室气体，泄漏会影响企业合规性，还可能引发有毒副产物...
