在半导体芯片制造中，SF6泄漏检测方法各有优劣：傅里叶变换红外光谱法适合大面积实时监测但成本高易受干扰；电子捕获检测器灵敏度极高但选择性差；气相色谱-质谱联用法检测精准但周期长成本高；固态电化学传感器...

航空航天设备中SF6泄漏检测主流方法包括非分散红外吸收法（NDIR）、电子捕获检测法（ECD）、质谱法、超声波检测法及量子级联激光吸收光谱法（QCLAS）。NDIR适合现场快速检测，ECD用于痕量定量...