蚀刻剂 - 六氟化硫产业智库

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六氟化硫在微电子技术领域用作蚀刻剂的具体原理是什么？

六氟化硫是微电子领域常用干法蚀刻剂，其等离子体分解出活性氟自由基与硅基材料反应生成挥发性产物，SF?离子可提升速率并实现高精度各向异性蚀刻，选择比高，应用关键。...

2026-06-15 954