SF6在芯片刻蚀中选择性不足会引发多维度问题：导致器件核心结构损伤，性能劣化；破坏图形转移精度，关键尺寸偏差超出工艺窗口；造成良率大幅下降，制造成本攀升；引发长期可靠性风险，缩短芯片使用寿命；阻碍先进...
