六氟化硫（SF6）在高温下（通常>500℃）会分解为活性氟化物中间体，与各类有机物发生氟化取代、加成、脱氧化氟化等反应，生成氟代烃、氟化氢（HF）、单质硫及含氟杂环化合物等产物。反应以自由基链式...

SF6在等离子体中经高能电子碰撞逐级解离，生成SFx（x=1-5）自由基与F原子，伴随重组反应生成SF6或副产物；解离效率受电子能量、压力、温度等参数影响，其电负性产物是实现绝缘灭弧功能的核心，相关机...