SF6在半导体芯片制造中用于等离子体蚀刻等关键工艺，泄漏会引发温室效应及工艺异常。泄漏检测方法需结合需求选择：在线实时监测优先非分散红外吸收法，精准定性定量选气相色谱-质谱联用法，泄漏点定位用超声波检...

航空航天设备中SF6泄漏检测主流方法包括非分散红外吸收法（NDIR）、电子捕获检测法（ECD）、质谱法、超声波检测法及量子级联激光吸收光谱法（QCLAS）。NDIR适合现场快速检测，ECD用于痕量定量...

电力设备中SF6气体泄漏检测可通过定性排查、定量检测、在线监测三类技术实现。定性方法如肥皂泡法、卤素检漏仪法用于快速定位泄漏区域；定量方法如红外吸收法、气相色谱法精准测量泄漏速率；在线监测系统如传感器...