SF6在半导体芯片制造中用作蚀刻气体与绝缘介质，因高温室效应需严格检测泄漏。常用方法包括红外吸收光谱法（FTIR/NDIR，ppb级灵敏度，适合在线监测）、TDLAS激光光谱法（ppt级，非接触式巡检...
SF6气体酸度在线检测主流方法包括电化学法、光谱法及半导体传感器法。电化学法响应快、精度高，光谱法抗干扰强，半导体传感器法成本低。系统含采样、检测、数据处理单元，需定期校准以符合GB/T 8905等标...
SF6为对称八面体结构，具有4种红外活性振动模式，对应特征吸收峰主要位于611 cm?1（强）、363 cm?1（中强）、164 cm?1（弱）和69 cm?1（弱），其中611 cm?1峰无大气成分...