SF6在等离子体中经高能电子碰撞逐级解离，生成SFx（x=1-5）自由基与F原子，伴随重组反应生成SF6或副产物；解离效率受电子能量、压力、温度等参数影响，其电负性产物是实现绝缘灭弧功能的核心，相关机...
