SF6因优异性能成为半导体制造关键气体，但GWP极高需环保替代，研发面临性能匹配、工艺兼容、环保与实用平衡、规模化生产及标准缺失等多重壁垒，现有替代气体在性能、成本或合规性上仍存不足，需突破多领域技术...
