在电网SF6设备检修中，真空泵需满足多维度严格要求：抽气速率适配设备容积，极限真空度达10^-3 Pa以下；核心部件采用哈氏合金、PTFE等耐腐蚀材质应对SF6分解物；具备双端面密封与泄漏监测的零泄漏...
