电子行业中SF6纯度检测以气相色谱法为核心,搭配红外光谱法快速筛查、质谱法检测痕量杂质,辅以露点法检测水分。气相色谱法实现ppb级杂质定量,红外光谱法适合现场实时监测,质谱法可检测ppt级分解产物,所...