SF6气体再利用前需经过回收收集、预处理（过滤、干燥）、深度净化（去除分解产物）、纯度检测、压缩储存及再利用前复核等环节。回收采用密闭装置，预处理去除固体杂质并将水分降至≤10ppm，深度净化通过吸附...
