在半导体芯片制造的SF6回收再利用中，主流纯度检测方法包括气相色谱法（实验室精准定量）、傅里叶变换红外光谱法（在线实时监测）、电化学法（现场快速筛查分解产物）及质谱法（痕量杂质检测），各方法基于国际权...

SF6气体酸度在线检测主流方法包括电化学法、光谱法及半导体传感器法。电化学法响应快、精度高，光谱法抗干扰强，半导体传感器法成本低。系统含采样、检测、数据处理单元，需定期校准以符合GB/T 8905等标...