回收后的六氟化硫（SF6）气体需经多阶段提纯：先预处理去除固体杂质与游离水分，再初提纯脱除有毒分解产物，随后用精馏或膜分离法深度分离低/高沸点杂质，最后经精处理与严格检测，确保符合GB/T 12022...

SF6提纯方法主要包括精馏法、吸附法、膜分离法、低温液化法及联合工艺。精馏法适用于大规模工业提纯，可获99.995%以上纯度；吸附法用于脱除微量杂质；膜分离法适合小规模现场处理；低温液化法为粗提纯工艺...