SF6是芯片制造关键环节的特种气体，但其作为《京都议定书》受控温室气体，全球变暖潜能值（GWP）达CO2的23500倍，大气寿命3200年。随着芯片产业扩张，SF6使用与排放增长，且其排放及分解产物难...
