在半导体芯片制造中，SF6广泛用于刻蚀、绝缘等工艺，泄漏会影响晶圆良率、增加环保压力。其泄漏检测灵敏度依场景制定：实时在线检测达ppb级，定期排查为ppm级，高压设备年泄漏率≤0.5%，需符合SEMI...

六氟化硫（SF6）气体泄漏检测仪的灵敏度需符合多维度标准要求，其中国家标准GB/T 8905-2012规定不低于1μL/L，电力行业DL/T 1430-2015要求定量仪最小检测量≤0.1μL/L、定...