SF6在半导体制造中泄漏后，本身因惰性在土壤中难降解，会改变土壤气体组成、抑制微生物活性，影响土壤生态；在水中溶解度低但长期累积可能影响水生生物，且分解产生的HF等副产物毒性更强，会加剧土壤与水源污染...
