SF6分解产生的HF具有强腐蚀性和毒性,需通过干法吸附、湿法吸收或联合工艺有效去除。干法常用活性氧化铝、氟化钙等吸附剂固定HF;湿法采用氢氧化钠、石灰乳等碱性溶液中和HF;联合工艺结合两者优势,适用于...