半导体芯片制造中，SF6尾气副产物包括未反应SF6及分解产生的HF、SO2F2等。通过低温冷凝、变压吸附、膜分离等技术可提纯回收SF6循环利用，副产物经精馏、催化转化等工艺可资源化生成电子级氢氟酸、锂...

六氟化硫（SF6）常温下化学稳定性极强，但在电气设备的电弧、局部放电、过热等故障条件下会分解。无氧无水环境下生成SF4、S2F10等初级产物，与水分、氧气反应后生成SOF2、SO2F2、HF等次级产物...