SF6焚烧产生的氟化氢(HF)需通过多环节工艺合规处理:先经余热回收、除尘预处理,再采用湿法碱液吸收(高浓度HF)、干法吸附(低浓度HF)或半干法喷雾干燥(中等浓度HF)等核心工艺,后续通过活性炭纤维...