在半导体芯片制造中，SF6及其分解产物具有窒息性、腐蚀性与毒性，操作人员需依据OSHA、ACGIH等权威标准，结合作业场景分级选择防护装备：呼吸防护分正压式（高浓度/缺氧环境）与过滤式（低浓度环境）；...

操作人员接触SF6气体时，需按场景配置多级防护：呼吸系统用过滤式防毒面具或正压式呼吸器；皮肤眼部配丁基橡胶手套、防化学飞溅护目镜；全身穿防静电化学防护服、防砸安全鞋；同时配备SF6检漏仪、氧气检测仪等...