SF6在半导体芯片制造中的替代气体如CF3I、C4F8、C5F10O等，依据GHS、NIOSH等权威机构分类，多属于低至中等毒性，急性吸入毒性较低，部分存在慢性暴露的器官损伤风险，职业接触需遵循相应限...
