SF6常温下实际无毒但高温分解产生有毒物质，半导体行业研发的替代气体如CF3I、C4F8、NF3等毒性表现各异。其中CF3I及部分混合气体综合毒性低于SF6，而C4F8、NF3因分解产物高毒性或严格暴...

纯六氟化硫（SF6）本身无毒，但高温电弧下分解产物具有强毒性；主流电网替代气体如g3、g4、g5、CF3I的急性毒性均处于低毒或微毒范畴，分解产物毒性与生成量显著低于SF6分解产物，职业接触风险更可控...