电子行业SF6尾气处理以“回收再利用、无害化分解、末端减排”为核心路径，优先采用密闭收集-净化-精馏的回收技术（回收率≥95%），高浓度尾气可通过等离子体或催化分解实现99.9%以上的无害化处理，低浓...
