六氟化硫替代气体研究持续推进，C4F7N混合气体等方案逐步落地，面临材料兼容、回收等挑战，政策驱动下市场前景广阔，未来聚焦低GWP物质等方向。...
环保型设备混合气体报废阶段可经膜分离、变压吸附等技术分离回收，受气体价值、规模等影响经济可行性，政策驱动下市场潜力大，技术瓶颈待突破，已有半导体等行业成功案例。...
