环保型开关设备混合气体充装成本:低SF6含量的高10%~25%,零SF6全替代的高80%~150%,未来随产能扩大成本差将收窄。...
半导体芯片制造中,SF6因高GWP需被替代,主流替代气体成本显著高于SF6:全氟异丁腈是其7.6-8.2倍,三氟碘甲烷是5.0-5.5倍,混合气体综合成本高4.5-6.3倍;设备改造等隐性成本进一步推...