SF6回收净化再生装置前期投入因规模而异，通过替代新气节约成本，多数企业3年内可回本，还能避免环保风险。...
SF6在半导体制造中的替代气体成本回收周期受气体类型、生产规模等因素影响，普遍为1-5年。CF3I替代需24-30个月，C4F8为18-24个月，NF3混合气体为36-48个月；大规模生产、政策激励及...
