半导体制造中SF6对纯度要求极高(5N-6N级),通过压缩冷凝、吸附、膜分离等组合提纯工艺,回收后的SF6纯度可稳定达99.9995%以上,经精密检测符合SEMI标准,已被台积电、三星等大厂应用,良率...
SF6电力设备退役时,通过合规回收、提纯净化、循环利用及无害化处置的全流程绿色处理体系,可实现资源高效利用。回收阶段采用真空工艺确保99%以上回收率,提纯后气体可重新用于电力设备或降级利用,无法回收的...
GB/T 44653-2024规定六氟化硫(SF6)现场循环再利用的回收率应不低于98%,该标准适用于高压电气设备中SF6气体的回收处理,同时要求再利用气体需满足纯度、水分、酸度等多项质量指标,以保障...