在半导体芯片制造中，SF6因绝缘和灭弧性被广泛应用，但其分解产物剧毒且具高温室效应。应急响应需遵循OSHA、IEC及国内GB标准：泄漏检测响应≤10秒，人员暴露后5分钟内急救，设备故障30分钟内处置，...
