截至2024年末,半导体芯片制造中SF6的环保替代气体整体市场份额达12.7%,首次超越SF6的8.2%占比。全氟酮类占替代气体核心份额(45.3%),氟氮混合气次之(28.7%)。欧洲渗透率最高(1...