SF6在半导体制造中用于先进制程刻蚀与绝缘工艺，但其高GWP值及分解产物的毒性带来环境与健康风险。安全防护核心包括：实时监测泄漏并通过密闭设备、回收系统管控源头；人员配备专业PPE并培训应急处置；优化...
