六氟化硫因强温室效应受国际管控，国内尾气排放国标为1000ppm，上海等地更严至500ppm，国际上欧盟、美国标准更严苛，检测与技术保障及政策趋严推动行业减排转型。...
SF6是芯片制造关键环节的特种气体，但其作为《京都议定书》受控温室气体，全球变暖潜能值（GWP）达CO2的23500倍，大气寿命3200年。随着芯片产业扩张，SF6使用与排放增长，且其排放及分解产物难...
