SF6钢瓶在半导体芯片制造中的存放间距需符合国家危化品储存及气瓶安全规程,同时满足半导体行业洁净与泄漏防控要求。仓库长期储存瓶间距不小于50cm,与其他类别危化品气瓶间距2-3m;车间临时存放需置于专...
SF6钢瓶存放需遵循《气瓶安全技术规程》等权威标准,与可燃气体钢瓶间距≥5米,与明火/热源≥10米,与建筑物外墙≥2米,瓶间≥0.1米;需分区存放不同状态的SF6钢瓶,室内远离电气设施,室外保证消防通...