六氟化硫(SF6)在电弧高温下分解为低氟硫化物自由基及硫、氟原子,弧后冷却阶段大部分产物复合为SF6,剩余活性产物与设备内H2O、O2等杂质反应生成SOF2、SO2F2、HF等有毒腐蚀性产物,这些产物...