在半导体芯片制造中，SF6泄漏检测方法各有优劣：傅里叶变换红外光谱法适合大面积实时监测但成本高易受干扰；电子捕获检测器灵敏度极高但选择性差；气相色谱-质谱联用法检测精准但周期长成本高；固态电化学传感器...

针对六氟化硫（SF6）的新型检测技术主要包括可调谐二极管激光吸收光谱（TDLAS）、量子级联激光光谱（QCL）、固态电化学传感器、太赫兹时域光谱（THz-TDS）及机器学习智能监测系统。这些技术在灵敏...