SF6气体经净化处理后,需满足纯度≥99.9%、水分≤10μL/L、酸度≤0.1μL/L、可水解氟化物≤1.0μL/L、矿物油≤10μL/L及分解产物(如SO2、H2S)达标等指标,同时需无毒性杂质,...