六氟化硫(SF6)在激光技术中作为工作或保护气体,其尾气含高GWP的SF6及有毒分解产物,需通过回收纯化再利用、催化分解、吸附法等技术处理。回收法可实现95%以上资源循环,催化分解能彻底无害化,吸附法...