六氟化硫（SF6）分解产物SO2F2具有强反应活性，会对半导体芯片造成多维度损伤：腐蚀金属互连层导致线路失效，侵蚀介质材料引发介电性能退化，破坏硅晶格结构降低载流子迁移率，加速器件老化导致参数漂移，还...
