SF6在半导体制造中用作工艺气体，泄漏后在高温等条件下生成HF、S2F10等有毒分解产物。长期暴露可导致呼吸系统慢性损伤、心血管病变、神经系统毒性、骨骼氟中毒，还可能增加肺癌等癌症的发病风险，需严格管...

长期接触六氟化硫（SF6）及其高温分解产物，可能对呼吸系统、心血管系统、神经系统等造成多方面损伤，包括呼吸道炎症、心血管负担加重、神经功能紊乱等，还可能间接增加患癌风险。需通过遵守职业暴露限值、配备防...