半导体芯片制造中，SF6尾气副产物包括未反应SF6及分解产生的HF、SO2F2等。通过低温冷凝、变压吸附、膜分离等技术可提纯回收SF6循环利用，副产物经精馏、催化转化等工艺可资源化生成电子级氢氟酸、锂...

当前SF6新型回收技术主要包括低温液化-精馏耦合、膜分离-变压吸附联合、离子液体吸收、超临界流体萃取等，这些技术在回收率、提纯精度、能耗控制上优于传统工艺，部分已在电力行业规模化应用，智能化集成系统正...