六氟化硫（SF6）工业制备以直接合成法为主，以高纯度升华硫和干燥氟气为原料，在250-600℃、常压或微正压条件下反应，采用耐腐蚀合金反应器，经多级精馏、吸附纯化后得到高纯度产品，生产过程需严格控制原...
