四氟化硫（SF4）作为六氟化硫（SF6）的分解产物，是强氟化剂，可与半导体设备中的金属、绝缘材料、聚合物组件发生氟化反应，破坏金属布线、绝缘层结构，导致密封件老化、精密组件失效，进而影响设备寿命与晶圆...
