六氟化硫搭配四氟化碳是经长期量产验证的成熟半导体刻蚀工艺组合，适配多类刻蚀场景，可实现刻蚀速率与精度平衡，适配主流设备、供应链稳定、改造成本低，是当前高精度刻蚀领域的主流方案，可为国内扩产的晶圆产线提...
