芯片制造中，针对SF6分解产生的SO2F2，需通过物理吸附、化学分解、回收再利用及源头优化多维度处理。物理吸附用活性炭、分子筛高效捕集；化学分解通过热解、等离子体或催化技术实现无害化；回收工艺可实现9...
