本内容介绍中船特气推出的高端电子级六氟化硫，适配14nm及以上半导体成熟制程，填补国内批量稳定供应空白，破解此前海外依赖带来的供应链风险，已进入头部晶圆厂供应链，助力半导体关键材料自主可控，把握电子特...

国产半导体级六氟化硫替代获关键突破，打破海外垄断，打通全流程工艺、通过头部晶圆厂验证，进入规模化落地阶段，将降低供应链风险、平抑采购成本，带动相关产业国产化，为国内半导体特种气体自主化提供重要参考。...