工业上制备六氟化硫(SF6)的核心原料为高纯度升华硫(纯度≥99.99%)和氟气(纯度≥99.9%),主流工艺采用直接合成法在高温镍制反应器中反应生成。少数工艺尝试用硫化氢、二硫化碳等含硫化合物与氟气...